型號

MRS312

MRS313

臺面直徑（mm）

60

120

傳動比

3：1

6：1

驅動方式

齒輪

最小分辨率

0.009°

0.0047°

重復定位精度

±0.004°

±0.004°

極限速度

250°/s

250°/s

步進電機（1.8°）

35步進電機

56步進電機

極限靜轉矩(Ncm)

10

60

中心負載（kg）

3

15

自重（kg）

0.5

2.6

備注

應用真空環境中，需單獨訂貨